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聚焦离子双束显微镜测试

发布日期:06-10     浏览量:54
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测试服务介绍:

主机台:FIB;

分辨率:5nm(30kV,1pA);

放大倍率:600x-500kx;

束流:1pA-20nA;

加速电压:1-30kV;

电子枪:Ga液态金属离子源(LMIS)

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